| 共光路径向剪切数字波面干涉仪 (发明) | |
| 何煦 ; 马军 | |
| 2012-06-27 | |
| 专利类型 | 发明专利 |
| 权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 中文摘要 | 一种共光路径向剪切数字波面干涉仪涉及一种光学干涉仪波面检测装置，解决了干涉仪的电控、机械系统复杂，研制成本高，难以保证长光路或测试环境的使用条件，很难达到较高的测试精度的问题。该干涉仪应用新型的共光路剪切干涉光路结构，具体包括：半导体激光器、扩束镜、空间滤波器、准直镜、剪切比控制镜、成像系统；该干涉仪还包括：第一偏振片…… |
| 公开日期 | 2012-08-29 |
| 专利申请号 | 201110440141.1 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12159]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何煦,马军. 共光路径向剪切数字波面干涉仪 (发明). 2012-06-27. |
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