非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 (发明) | |
王孝坤 ; 郑立功 ; 张学军 | |
2011-01-19 | |
专利类型 | 发明专利 |
权利人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及一种非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法,该方法包括如下步骤:计算z(x,y)-s(x,y,r)的值,其中z(x,y)为非球面沿光轴方向的矢高分布,s(x,y,r)为与待测非球面最接近的球面沿光轴方向的矢高分布;利用透射球将干涉仪出射的平行光转变为标准球面波并将其作为参考球面波;调整待测非球面的位置,使得与待…… |
公开日期 | 2012-08-29 |
专利申请号 | 201010273734.9 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11824] |
专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王孝坤,郑立功,张学军. 非零位补偿浅度光学非球面面形检测方法 (发明). 2011-01-19. |
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