CORC  > 大连理工大学
MOCVD腔体压力对ZnO薄膜生长的影响
刘远达; 柳阳; 杜国同; 梁红伟; 夏晓川; 杨建增; 冯艳彬; 宋世魏; 张克雄; 杨德超
2012
会议名称第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
会议日期2012-11-07
会议地点开封
页码394-394
会议录第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
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内容类型会议论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4806165
专题大连理工大学
作者单位1.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁省大连市,116024
2.大连理工大学物理与光电工程学院,辽宁省大连市,116024
3.吉林大学电子与信息工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室,吉林省长春市,130023
推荐引用方式
GB/T 7714
刘远达,柳阳,杜国同,等. MOCVD腔体压力对ZnO薄膜生长的影响[C]. 见:第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议. 开封. 2012-11-07.
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