| 6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析（英文） | |
| 郁万成; 胡小波; 崔潆心; 陈秀芳; 徐现刚 | |
| 刊名 | 光谱学与光谱分析
 |
| 2016 | |
| 期号 | 04页码:1255-1260 |
| 关键词 | 碳化硅 激光刻蚀 拉曼光谱 能量色散谱 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4758773 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 山东大学晶体材料国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郁万成,胡小波,崔潆心,等. 6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析（英文）[J]. 光谱学与光谱分析,2016(04):1255-1260. |
| APA | 郁万成,胡小波,崔潆心,陈秀芳,&徐现刚.(2016).6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析（英文）.光谱学与光谱分析(04),1255-1260. |
| MLA | 郁万成,et al."6H-SiC单晶的激光刻蚀及光谱分析（英文）".光谱学与光谱分析 .04(2016):1255-1260. |
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