| 微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告 | |
| 张苗; 王雪林; 魏星 | |
| 刊名 | 科技创新导报
 |
| 2016 | |
| 期号 | 30页码:184-185 |
| 关键词 | 离子束 绝缘体上硅 光波导 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4690247 |
| 专题 | 山东大学 |
| 作者单位 | 1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所 2.山东大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张苗,王雪林,魏星. 微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告[J]. 科技创新导报,2016(30):184-185. |
| APA | 张苗,王雪林,&魏星.(2016).微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告.科技创新导报(30),184-185. |
| MLA | 张苗,et al."微纳结构的载能离子制备、调控及其机理研究年度报告".科技创新导报 .30(2016):184-185. |
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