| 大气压Ar-N_2微波等离子体的发射光谱诊断 | |
| 李寿哲; 张新; 张家良; 王永兴; 夏广庆 | |
| 2013 | |
| 会议名称 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会 |
| 会议日期 | 2013-08-15 |
| 会议地点 | 中国上海 |
| 关键词 | 微波等离子体 Ar-N_2 等离子体射流 能量耦合 真空设备 废气处理 材料合成 电磁波辐射 等离子体诊断 活性粒子 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4644992 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学 三束材料改性教育部重点实验室 2.大连理工大学 物理与光电工程学院 3.大连理工大学 电气工程学院 4.大连理工大学 航空航天学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李寿哲,张新,张家良,等. 大气压Ar-N_2微波等离子体的发射光谱诊断[C]. 见:第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会. 中国上海. 2013-08-15. |
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