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	氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性
	李治玥; 吕英波; 赵继凤; 宋淑梅; 杨波波; 辛艳青; 王昆仑; 杨田林
刊名	发光学报
	2017
卷号	38期号:12
关键词	氧化铟锡锌薄膜晶体管 射频磁控溅射 氮掺杂 界面态密度
URL标识	查看原文
公开日期	[db:dc_date_available]
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4594672
专题	山东大学
作者单位	1.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 2.山东大学空间科学与物理学院, 威海, 山东 264209, 中国. 3.山东大学空间科学与
推荐引用方式 GB/T 7714	李治玥,吕英波,赵继凤,等. 氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性[J]. 发光学报,2017,38(12).
APA	李治玥.,吕英波.,赵继凤.,宋淑梅.,杨波波.,...&杨田林.(2017).氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性.发光学报,38(12).
MLA	李治玥,et al."氮掺铟锡锌薄膜晶体管的制备及其光电特性".发光学报 38.12(2017).

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