| 一种超纯氢气制造装置; 一种超纯氢气制造装置 | |
| 徐恒泳 ; 侯守福 ; 于晓东 ; 董恩宁 ; 孙剑 | |
| 2012-02-15 | |
| 专利国别 | 中文 |
| 专利号 | CN201120253262.0 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 关键词 | 物理化学 |
| 权利人 | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 中文摘要 | 本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置，包括原料氢气缓冲罐，过滤器，流量控制阀，加热器，金属钯复合膜氢气纯化器，换热器，氢气储罐。原料氢气缓冲罐（11）的气体出口通过管路依次经过滤器（12）、流量控制阀（13）和加热器（14）后与金属钯复合膜氢气纯化器（15）的入口相连，金属钯复合膜氢气纯化器（15）的出口通过管路经换热器（16）换热后与氢气储罐（17）相连；金属钯复合膜氢气纯化器（15）的尾气出口排空。本装置制造超纯氢气，具有投资省和生产成本低的优点，可用于为多晶硅生产和LED外延片生长等提供廉价超纯氢气。 |
| 是否PCT专利 | 待填写 |
| 学科主题 | 物理化学 |
| 公开日期 | 2012-02-15 |
| 申请日期 | 2011-07-18 |
| 语种 | 中文 |
| 资助信息 | 中国科学院大连化学物理研究所;辽宁石油化工大学 |
| 专利证书号 | 待填写 |
| 专利申请号 | CN201120253262.0 |
| 专利代理 | 马驰 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.238.44/handle/321008/116285]  |
| 专题 | 大连化学物理研究所_中国科学院大连化学物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐恒泳,侯守福,于晓东,等. 一种超纯氢气制造装置, 一种超纯氢气制造装置. CN201120253262.0. 2012-02-15. |
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