| 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断 | |
| 常大磊; 李小松; 赵天亮; 朱爱民* | |
| 刊名 | 物理化学学报
 |
| 2013 | |
| 卷号 | 29页码:625-630 |
| 关键词 | 大气压射频等离子体 介质阻挡放电 等离子体化学气相沉积 发射光谱诊断 TiO2 |
| ISSN号 | 1000-6818 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4538756 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学等离子体物理化学实验室,辽宁大连116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 常大磊,李小松,赵天亮,等. 大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断[J]. 物理化学学报,2013,29:625-630. |
| APA | 常大磊,李小松,赵天亮,&朱爱民*.(2013).大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断.物理化学学报,29,625-630. |
| MLA | 常大磊,et al."大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断".物理化学学报 29(2013):625-630. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论