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	一种对多晶硅CVD反应器辐射热损失的预估方法
	刘迎文; 何雅玲; 胡露露; 徐升华; 刘冈云
	2012-02-15
DOI标识	[db:dc_identifier_doi]
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申请日期	2011-10-12
WOS记录号	[db:dc_identifier_wosid]
内容类型	专利
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4485304
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘迎文,何雅玲,胡露露,等. 一种对多晶硅CVD反应器辐射热损失的预估方法. 2012-02-15.

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