| Diffusion barrier performance of nano-structured and amorphous Ru-Ge diffusion barriers for copper metallization | |
| He, Guohua; Yao, Ling; Song, Zhongxiao; Li, Yanhuai; Xu, Kewei | |
| 2012 | |
| 关键词 | Cu interconnection Diffusion barrier layer Self-formation Ru-Ge film |
| 卷号 | 86 |
| 期号 | [db:dc_citation_issue] |
| DOI | [db:dc_identifier_doi] |
| 页码 | 965-969 |
| 会议录 | VACUUM
 |
| URL标识 | 查看原文 |
| ISSN号 | 0042-207X |
| WOS记录号 | [DB:DC_IDENTIFIER_WOSID] |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4480940 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | He, Guohua,Yao, Ling,Song, Zhongxiao,et al. Diffusion barrier performance of nano-structured and amorphous Ru-Ge diffusion barriers for copper metallization[C]. 见:. |
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