| 题名 | 结构与非结构化网格耦合算法及单晶硅生长过程模拟研究 |
| 作者 | 王浩 |
| 答辩日期 | 2012 |
| 导师 | 刘立军 |
| 关键词 | 数值模拟提拉法全局模拟氩气流动杂质场单晶硅 |
| 学位名称 | 工学硕士 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| DOI标识 | [db:dc_identifier_doi] |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4474252 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王浩. 结构与非结构化网格耦合算法及单晶硅生长过程模拟研究[D]. 2012. |
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