| 新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光 | |
| 张振宇; 宋亚星; 徐朝阁 | |
| 刊名 | 中国机械工程
 |
| 2014 | |
| 卷号 | 25页码:3008-3011 |
| 关键词 | 碲锌镉 固结磨料 绿色环保抛光液 化学机械抛光 |
| ISSN号 | 1004-132X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4423349 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，大连，116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张振宇,宋亚星,徐朝阁. 新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光[J]. 中国机械工程,2014,25:3008-3011. |
| APA | 张振宇,宋亚星,&徐朝阁.(2014).新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光.中国机械工程,25,3008-3011. |
| MLA | 张振宇,et al."新型环保抛光液的制备及其对软脆碲锌镉晶片的化学机械抛光".中国机械工程 25(2014):3008-3011. |
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