利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究

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	利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究
	李诗卓,柴黎明
刊名	固体润滑
	1990-12-31
期号	4 页码:276-285
关键词	冲蚀法孕育剂量临界剂量膜的冲蚀系数划痕法临界载荷硬质膜结合强度
中文摘要	作者利用入射速度为40m/s的80~#和100~#白刚玉砂冲击超硬质膜,测定入射粒子量与膜剥离之间的定量关系,确定造成底材开始显露所需的粒子用量(孕育剂量)和冲蚀坑中心部位的膜全部剥离时的最低粒子用量(临界剂量),并以两者之差作为判据,收到了与划痕法通过临界载荷评价膜-底材结合强度的同样效果。试验结果证明,孕育剂量与膜厚呈正变关系,因而通过它可以先求出膜厚,再求出剥离单位厚度膜层所消耗的粒子量(线冲蚀系数),并用其作为膜-底材结合强度的判据,可以扣除膜厚的影响。作者认为,冲蚀法的主要优点是设备简单、操作方便、取样面积大、代表性好,能为各类薄膜工艺提供可信的判据。
公开日期	2012-04-12
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29029]
专题	金属研究所_中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李诗卓,柴黎明. 利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究[J]. 固体润滑,1990(4):276-285.
APA	李诗卓,柴黎明.(1990).利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究.固体润滑(4),276-285.
MLA	李诗卓,柴黎明."利用冲蚀法评价硬质膜与底材结合强度的试验研究".固体润滑 .4(1990):276-285.