| 题名 | IBED薄膜合成及TiAl表面改性研究 |
| 作者 | 徐东 |
| 学位类别 | 硕士 |
| 答辩日期 | 1994-04-01 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） |
| 导师 | 柳襄怀 |
| 关键词 | 离子束增强沉积 氮化铝薄膜 抗腐蚀性 氮化硅薄膜 表面改性 |
| 学位专业 | 材料物理 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-03-06 |
| 页码 | 65 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/84340]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_微系统、冶金所学位论文_学位论文（200年以前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐东. IBED薄膜合成及TiAl表面改性研究[D]. 中国科学院研究生院（上海冶金研究所） . 1994. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论