气体探测用低功耗微型加热器研究

	气体探测用低功耗微型加热器研究
	许磊 ; 李铁 ; 高秀丽 ; 王跃林
	2010
会议名称	中国兵工学会第十五届测试技术学术年会
会议日期	2010
关键词	MEMS 低功耗微型加热器铂各向异性腐蚀
中文摘要	介绍了一种基于MEMS技术的可用于气体探测的低功耗微型加热器.通过结构优化和工艺参数控制实现了一种低功耗和高机械强度加热器的设计与制作.该加热器采用悬膜式结构,中心加热膜区通过4根细长的悬梁与衬底框架相连,铂电阻丝作为加热元件以折线的形式排列在中心膜区上,采用硅各向异性腐蚀液正面释放薄膜,并在薄膜下方形成倒金字塔型的隔热腔体.测试结果表明,加热器在400 C时功耗仅为26 mw,且加热器的升温响应时间小于5 ms,降温响应时间小于2 ms.
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7456002.aspx
会议录	中国兵工学会第十五届测试技术学术年会论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55635]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	许磊,李铁,高秀丽,等. 气体探测用低功耗微型加热器研究[C]. 见:中国兵工学会第十五届测试技术学术年会. 2010.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7456002.aspx.