一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用

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	一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用
	朱德峰 ; 许宝建 ; 程建功 ; 金庆辉 ; 赵建龙 ; 徐元森
刊名	功能材料与器件学报
	2010
期号	02
关键词	无线传感器网络目标识别粒子群优化模糊逻辑规则分类器
ISSN号	1007-4252
中文摘要	生物定量检测中,生物样品是否均匀混合的研究意义重要。石英晶体微质量天平(QCM)因其振幅谐振机理,而具备优异的超声混合性能。本文结合微电子机械系统(MEMS)工艺,利用双面曝光、QCM预支撑和120℃长时间烘胶等改进方法,制备了尺寸可控、表面平整、结合紧密的SU-8芯片主体结构,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)封装获得完整的液相混合微芯片,最后利用罗丹明B荧光染料和SiO2纳米球对芯片的混合性能进行了表征。同时,本文提供了一种小体积、便捷、通用性好的液相混合微芯片的制备方法。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52314]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	朱德峰,许宝建,程建功,等. 一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用[J]. 功能材料与器件学报,2010(02).
APA	朱德峰,许宝建,程建功,金庆辉,赵建龙,&徐元森.(2010).一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用.功能材料与器件学报(02).
MLA	朱德峰,et al."一种基于QCM的液相混合微芯片的制作与应用".功能材料与器件学报 .02(2010).