两维碰撞加速度传感器及其实用化

	两维碰撞加速度传感器及其实用化
	周伟 ; 刘民 ; 姜伟 ; 李昕欣
刊名	仪表技术与传感器
	2009
期号	S1
关键词	高量程微加速度传感器横向响应波形比较法自由落杆微机电系统
ISSN号	1002-1841
中文摘要	基于MEMS加工和模块化封装来制作用于碰撞冲击测量的加速度传感器。该传感器采用新型三梁-质量块敏感结构,在提高灵敏度的同时拓宽了频带范围。通过压阻效应形成惠斯通电桥,在500 g的量程下,灵敏度达到0.3 mV/g/5 V,固有频率15k Hz.传感器贴装在PCB板上,由经济实用的放大电路进行处理,可以实现两维的加速度测量,电压输出1～4 V,带宽500 Hz.传感器在车辆运输等实际环境下进行了试用,性能可靠稳定,具有良好的实用化前景。
语种	中文
公开日期	2012-01-06
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52126]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	周伟,刘民,姜伟,等. 两维碰撞加速度传感器及其实用化[J]. 仪表技术与传感器,2009(S1).
APA	周伟,刘民,姜伟,&李昕欣.(2009).两维碰撞加速度传感器及其实用化.仪表技术与传感器(S1).
MLA	周伟,et al."两维碰撞加速度传感器及其实用化".仪表技术与传感器 .S1(2009).