退火对立方相Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质影响
陈乃波 ; 吴惠桢 ; 徐天宁 ; 余萍
刊名无机材料学报
2006
期号04
关键词显色法 芯片 结核分枝杆菌 利福平 异烟肼 耐药
ISSN号1000-324X
中文摘要在蓝宝石(0001)衬底上低温生长立方相MgxZn1-xO(x>0.5)晶体薄膜,用X射线衍射(XRD)和透射光谱分析高温退火对薄膜的结构和光学性质的影响.结果表明:对Mg0.53Zn0.47O薄膜,在900℃的退火温度下,(0002)衍射峰以及透射光谱上双吸收边的出现均表明有六方结构从其立方结构中分离出来;但对于Mg含量高于55%的样品,即使经历了1000℃的高温退火,也不会有任何相分裂现象出现.而电学测试结果表明,高温下热稳定性良好的立方相Mg0.55Zn0.45O晶体薄膜还能用于金属-绝缘体-半导体
语种中文
公开日期2012-01-06
内容类型期刊论文
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50991]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
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GB/T 7714
陈乃波,吴惠桢,徐天宁,等. 退火对立方相Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质影响[J]. 无机材料学报,2006(04).
APA 陈乃波,吴惠桢,徐天宁,&余萍.(2006).退火对立方相Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质影响.无机材料学报(04).
MLA 陈乃波,et al."退火对立方相Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性质影响".无机材料学报 .04(2006).
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