一种Sb-Te-Ti相变存储材料 | |
吴良才 ; 朱敏 ; 宋志棠 ; 饶峰 ; 宋三年 ; 彭程 ; 刘波 ; 封松林 | |
2011-12-07 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN102268738A |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及相变材料及其制备方法,尤其是可用于相变存储器的Sb-Te-Ti相变薄膜材料。本发明的Sb-Te-Ti新型相变存储材料,是在Sb-Te相变材料的基础上掺入Ti而成,掺入的Ti与Sb、Te均成键,其化学通式为SbxTeyTi100-x-y,其中0<x<80,0<y<100-x。现有的Sb-Te相变材料结晶过程以晶粒生长占主导,因此相变速率快,然而保持力不能满足工业要求。本发明的Sb-Te-Ti新型相变存储材料的结晶温度得到大幅度地升高,保持力提升,热稳定性增强;同时,非晶态电阻降低,晶态电阻升高;可 |
是否PCT专利 | 是 |
公开日期 | 2011-12-07 |
申请日期 | 2011-07-13 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 201110196219.X |
专利代理 | 许亦琳 ; 余明伟 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48621] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴良才,朱敏,宋志棠,等. 一种Sb-Te-Ti相变存储材料. CN102268738A. 2011-12-07. |
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