一种柔性电容式触觉传感器的制作方法 | |
车录锋 ; 肖素艳 ; 李昕欣 ; 王跃林 | |
2007-10-24 | |
专利国别 | 中国 |
专利号 | CN101059380 |
专利类型 | 发明 |
权利人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
中文摘要 | 本发明涉及一种柔性电容式触觉传感器的制作方法,其特征在于所述柔 性电容式触觉传感器的制作包括PDMS的中间层准备,柔性PI衬底的制备, 金属敏感电极及其电连接的图形化,第一高弹性介电层PDMS和第二柔性介 电层PI的形成,金属驱动电极及其电连接的图形化,最上层柔性绝缘保护 层PI的图形化和柔性电容式触觉传感器的分离。本发明通过工艺的优化整 合,实现了有机柔性材料PDMS及PI与传统MEMS工艺之间的兼容性。所 制作的电容式触觉传感器结构轻薄,机械强度高,可挠性好,可贴附在任意 曲率表面同时感受法向力和切向 |
是否PCT专利 | 是 |
公开日期 | 2007-10-24 |
申请日期 | 2007-02-16 |
语种 | 中文 |
专利申请号 | 200710037606.2 |
专利代理 | 潘振甦 |
内容类型 | 专利 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/48477] |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_专利 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 车录锋,肖素艳,李昕欣,等. 一种柔性电容式触觉传感器的制作方法. CN101059380. 2007-10-24. |
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