QQ客服 官方微博 反馈留言

	容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究
	宋远红
	2019-08-16
URL标识	查看原文
内容类型	项目
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3232067
专题	大连理工大学
推荐引用方式 GB/T 7714	宋远红.容性耦合等离子体准原子层刻蚀/沉积的多尺度混合模拟研究.2019.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。