| 不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试 | |
| 周鹏; 王大志; 石鹏; 赵奎鹏; 姜重阳; 王柱 | |
| 刊名 | 机电工程技术
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 48页码:32-34 |
| 关键词 | 微悬臂梁传感器 PZT厚膜 电雾化沉积 模板辅助 不锈钢 |
| ISSN号 | 1009-9492 |
| URL标识 | 查看原文 |
| WOS记录号 | [db:dc_identifier_wosid] |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3229027 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连,116024 2.上海汽车集团股份有限公司,上海,200041 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周鹏,王大志,石鹏,等. 不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试[J]. 机电工程技术,2019,48:32-34. |
| APA | 周鹏,王大志,石鹏,赵奎鹏,姜重阳,&王柱.(2019).不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试.机电工程技术,48,32-34. |
| MLA | 周鹏,et al."不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试".机电工程技术 48(2019):32-34. |
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