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	多晶硅微机械开关的关键技术研究
	张正元 [1]; 温志渝 [1]; 王晓兰 [1]; 黄尚廉 [1]; 徐世六 [2]; 张正番 [2]
会议日期	2001年10月01日
会议地点	重庆
URL标识	查看原文
内容类型	会议论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/3166993
专题	重庆大学
推荐引用方式 GB/T 7714	张正元 [1],温志渝 [1],王晓兰 [1],等. 多晶硅微机械开关的关键技术研究[C]. 见:. 重庆. 2001年10月01日.

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