基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量 | |
金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博 | |
刊名 | 吉林大学学报(工学版) |
2004 | |
卷号 | 第3期 |
关键词 | 自动控制技术 |
ISSN号 | 1671-5497 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2930757 |
专题 | 天津大学 |
作者单位 | 天津大学, 精密测试技术及仪器国家重点实验室, 天津, 300072 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博. 基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量[J]. 吉林大学学报(工学版),2004,第3期. |
APA | 金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博.(2004).基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量.吉林大学学报(工学版),第3期. |
MLA | 金翠云 栗大超 靳世久 王立坤 李一博."基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量".吉林大学学报(工学版) 第3期(2004). |
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