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题名	面向超精密加工表面的光学复合干涉技术及系统研究
作者	薛兴昌
答辩日期	2018
导师	杨树明
关键词	单色光相移干涉 白光扫描干涉 光学复合干涉 表面形貌测量
学位名称	硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2915882
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	薛兴昌. 面向超精密加工表面的光学复合干涉技术及系统研究[D]. 2018.

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