QQ客服 官方微博 反馈留言

	RESEARCH OF THIN MEMBRANE METAL OXIDE TIO2 GAS SENSOR WITH NANO POLY-SILICON STRUCTURE MADE BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION
	Chen DP(陈大鹏); Ming AJ(明安杰); Li CB(李超波); Wang WB(王玮冰)
	2015-10-11
内容类型	会议论文
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/15288]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	Chen DP,Ming AJ,Li CB,et al. RESEARCH OF THIN MEMBRANE METAL OXIDE TIO2 GAS SENSOR WITH NANO POLY-SILICON STRUCTURE MADE BY PLASMA IMMERSION ION IMPLANTATION[C]. 见:.

个性服务

查看访问统计

相关权益政策

暂无数据

收藏/分享

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。