| 一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式 | |
| 贾少霞; 赵玲利; 王守国 | |
| 2011-08-10 | |
| 著作权人 | 中国科学院微电子研究所 |
| 国家 | 中国 |
| 文献子类 | 发明 |
| 英文摘要 | 一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式，由三层隔板组成，喷枪上端为进气口，下端为喷口，周围用金属板密闭，等离子体放电电极由射频电极和接地电极组成，喷枪等离子放电对进气均匀性要求严格，本发明设计的喷枪进气方式以降低气流冲击力为前提，使气体均匀进入喷枪放电缝隙，保证放电均匀稳定，其特征在于：进气方式由三层金属板组成，三层隔板不同位置开缝隙，形成缝隙交错间隔的格局，当工作气体进入喷枪后，先通过第一层隔板，第一层隔板两侧开狭缝，气流在第一层隔板的阻挡下，冲击力下降，并从两侧缝隙流出，第二层隔板中间开狭缝，从第一层隔板进入的工作气体被第二层隔板阻挡，形成涡流，冲击力再次下降，气流流速逐渐均匀，第三层隔板与第一层隔板一样，两侧开狭缝，气流被第三层隔板均匀分流到两侧流出进气系统，进入射频电极与接地电极之间的放电区域。 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/17778]  |
| 专题 | 微电子研究所_微电子仪器设备研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾少霞,赵玲利,王守国. 一种新型的常压等离子体自由基清洗喷枪进气方式. 2011-08-10. |
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