一种基于SCR的集成电路静电保护器件

	一种基于SCR的集成电路静电保护器件
	王任卿; 陆江; 苏江; 朱阳军
	2018-08-10
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201210524550.4
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种基于SCR的集成电路静电保护器件，包含：P型衬底，在所述P型衬底上设有相邻的P阱和N阱；在所述N阱里面设有P+型扩散区和N+型扩散区，二者分别与金属层连接；在所述P阱里面设有P+型扩散区和N+型扩散区，二者分别与金属层连接；在所述N阱表面的金属层和P阱表面的金属层之间通过氧化层隔开；在所述P阱里面设有的N+型扩散区和在所述N阱里面设有的P+型扩散区二者中至少一个设有双扩散PN结；所述双扩散PN结的个数包含两个或两个以上，所述多个双扩散PN结串联。本发明提供的基于SCR的集成电路静电保护器件，使得ESD保护电路中SCR的触发电压和维持电压都得到了提高。
公开日期	2014-06-11
申请日期	2012-12-07
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.107/handle/172511/18678]
专题	微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王任卿,陆江,苏江,等. 一种基于SCR的集成电路静电保护器件. CN201210524550.4. 2018-08-10.