SURFACE PHOTOVOLTAGE STUDIES OF N-TYPE AND P-TYPE CRYSTALLINE SILICON PASSIVATEDBY THERMAL-ALD ALUMINIUM OXIDE
Jin Z(金智); Sun Y(孙昀); Liu XY(刘新宇); Tao K(陶科)
2016-09-09
文献子类会议论文
内容类型会议论文
源URL[http://159.226.55.106/handle/172511/16318]  
专题微电子研究所_高频高压器件与集成研发中心
作者单位中国科学院微电子研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
Jin Z,Sun Y,Liu XY,et al. SURFACE PHOTOVOLTAGE STUDIES OF N-TYPE AND P-TYPE CRYSTALLINE SILICON PASSIVATEDBY THERMAL-ALD ALUMINIUM OXIDE[C]. 见:.
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