一种基于柔性衬底的传感器模块

	一种基于柔性衬底的传感器模块
	梁圣法; 李冬梅; 李小静; 张浩; 罗庆; 周磊; 刘明; 谢常青; 杨洪璋
	2017-01-11
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201310680558.4
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块，该传感器模块包括传感器部分及天线部分，二者均以柔性绝缘材料为衬底，并通过导线或夹具连接，其中，传感器部分用于感知外部敏感信号，天线部分用于无线信号的传输及接收，二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底，利用各种微电子微加工方法，将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起，形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。
公开日期	2014-03-19
申请日期	2013-12-12
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/17928]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	梁圣法,李冬梅,李小静,等. 一种基于柔性衬底的传感器模块. CN201310680558.4. 2017-01-11.