一种敏感吸附膜及其制造方法

	一种敏感吸附膜及其制造方法
	李冬梅; 刘明; 谢常青; 闫学峰; 叶甜春
	2015-04-01
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201110122282.9
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种声表面波气体传感器上的敏感吸附膜及其制造方法，其中，所述敏感吸附膜，设置于声表面波气体传感器上相邻插指换能器之间的压电薄膜上，包括：沉积于所述压电薄膜上的三层金属薄膜，所述三层金属薄膜依次为BiO2薄膜、Bi薄膜及BiO2薄膜。通过本发明实施例，可以提高声表面波气体传感器上该敏感吸附膜对NO2气体的敏感性和选择性。
公开日期	2012-11-14
申请日期	2011-05-12
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/14749]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	李冬梅,刘明,谢常青,等. 一种敏感吸附膜及其制造方法. CN201110122282.9. 2015-04-01.