用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法

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	用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法
	朱效立; 刘明; 贾佳; 潘一鸣; 谢常青
	2012-05-23
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200910235465.4
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。本发明提供的复合型光子筛，相对于菲涅尔波带片，可以提高数值孔径，提高成像分辨率，能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，能够提高成像对比度，并且有效减小GDSII版图文件的数据量，降低大口径成像光子筛的加工难度
公开日期	2011-05-04
申请日期	2009-10-14
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/11641]
专题	微电子研究所_微电子器件与集成技术重点实验室
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	朱效立,刘明,贾佳,等. 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法. CN200910235465.4. 2012-05-23.