低温探针台防热辐射铝箔屏及其制造方法

	低温探针台防热辐射铝箔屏及其制造方法
	刘明; 贾锐; 李维龙; 陈晨; 朱晨昕; 李昊峰; 刘新宇
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN200810239881.7
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种低温探针台防热辐射铝箔屏，属于防止热辐射领域。本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏包括固定项圈以及至少2条铝箔条；所示固定项圈的直径与所述低温探针台内真空腔室的内径相匹配；所述铝箔条均匀固定在所述固定项圈上。本发明可以有效防止外界的热辐射对低温环境的扰动。使用本发明的低温探针台防热辐射铝箔屏可以有效地使温度由5K降至4.5K。由于较为有效地反射了热辐射，其消耗的液氮和液氦的量减少，节约了实验成本。本发明还公开了一种制备低温探针台防热辐射铝箔屏的方法，其步骤包括制作固定项圈、制作铝箔条、将铝箔条固定在固定项圈上以及将低温探针台内探针臂位置的铝箔条去除。
公开日期	2009-05-20
申请日期	2008-12-19
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://10.10.10.126/handle/311049/7776]
专题	微电子研究所_回溯数据库（1992-2008年）
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	刘明,贾锐,李维龙,等. 低温探针台防热辐射铝箔屏及其制造方法. CN200810239881.7.