离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试

	离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试
	马通达; 付新; 张崇宏; 贾荣光; 杨义涛
刊名	科学通报
	2018-01-10
卷号	63 页码:89-97
英文摘要	316L奥氏体不锈钢经过高剂量氦注入及高能铁离子辐照后,产生高密度空洞.本文采用聚焦离子束(FIB)技术从辐照后的316L不锈钢试样上制备出透射电子显微镜(TEM)样品,通过TEM定量分析样品薄区的空洞密度及分布状态,进而计算出样品的辐照肿胀率.该定量表征结果的准确性依赖于样品薄区厚度的精确测量.然而,Kelly和Allen早期提出的基于会聚束电子衍射(CBED)的膜厚测量技术无法直接应用于TEM样品较薄微区的厚度测量(厚度<0.6ζ_g,ζ_g为衍射束g对应的消光距离).本文提出对同一样品较厚区域CBED花样进行测量拟合出特定衍射束的消光距离,再将该参数应用于待测薄区同一取向CBED花样的测量结果,从而估算样品薄区的厚度.讨论了CBED方法相对于电子能量损失谱(EELS)方法在透射样品厚度测量上的优势.以离子辐照后的316L不锈钢样品薄区厚度测量及空洞密度定量分析为实例,探讨了本文所提出的基于CBED技术的薄区厚度测量方案在实验过程中的主要影响因素及优化途径.
内容类型	期刊论文
源URL	[http://119.78.100.186/handle/113462/59837]
专题	近代物理研究所_材料研究中心
作者单位	(1)北京有色金属研究总院;(2)国标(北京)检验认证有限公司;(2)中国科学院近代物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	马通达,付新,张崇宏,等. 离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试[J]. 科学通报,2018,63:89-97.
APA	马通达,付新,张崇宏,贾荣光,&杨义涛.(2018).离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试.科学通报,63,89-97.
MLA	马通达,et al."离子辐照的316L不锈钢中空洞密度的定量化电子显微镜测试".科学通报 63(2018):89-97.