用双潘宁型离子源进行钇离子注入的实验研究

	用双潘宁型离子源进行钇离子注入的实验研究
	高敏 ; 赵力民 ; 汪静岩 ; 付宝君 ; 肖荣庆
刊名	兰州大学学报
	1998-12-22
期号	04
关键词	钇离子注入氧化钇
英文摘要	Yttrium plays an important role in stainless and high Tc superconductor. In this work, the ion implantation of Yttrium into the copper film evaporated on a ZrO 2 substrate is studied. The duopigatron source of multiple charged ion is used as the ion source and Y 2O 3 is taken as the sputtering material. Efforts have been done on the preparation of the Y 2O 3 inserter, the extraction of the Y ion beam as well as the implantation of Y into the copper film. The Y implanted copper film has been characteri...
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:450604
资助机构	甘肃省自然科学基金,中科院兰州冰川冻土研究所支持项目
公开日期	2011-09-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.imp.cas.cn/handle/113462/11539]
专题	近代物理研究所_近代物理研究所知识存储（2010之前）
推荐引用方式 GB/T 7714	高敏,赵力民,汪静岩,等. 用双潘宁型离子源进行钇离子注入的实验研究[J]. 兰州大学学报,1998(04).
APA	高敏,赵力民,汪静岩,付宝君,&肖荣庆.(1998).用双潘宁型离子源进行钇离子注入的实验研究.兰州大学学报(04).
MLA	高敏,et al."用双潘宁型离子源进行钇离子注入的实验研究".兰州大学学报 .04(1998).