| EPM—810Q电子探针仪自动控制系统的升级改造 | |
| 舒桂明 ; 李小凤 ; 黄明 ; 魏至峰 ; 张树义 | |
| 1991 | |
| 关键词 | 自动控制系统 电子探针 自动控制技术 微区成分分析 显微分析 原系统 控制部件 EPM Probe Electron |
| 英文摘要 | 电子探针x射线显微分析仪(Electron Probe Microanalyzer)简称电子探针分析仪(EPMA)是近二十年来迅速发展起来的广泛用于物理、化学、地质、冶金、考古、材料科学和微电子等领域的一种表面形貌与微区成分分析仪器。我们于1983年通过世界银行第一个大学发展项目引进了日本岛津公司生产的EPM—810Q型电子探针仪,价值23万美元。由于国际市场的激烈竞争和近几年来自动控制技术发展(尤其; 0; 05; 8-11 |
| 语种 | 中文 |
| 出处 | 知网 |
| 出版者 | 实验技术与管理 |
| 内容类型 | 其他 |
| 源URL | [http://hdl.handle.net/20.500.11897/50512]  |
| 专题 | 数学科学学院 地球与空间科学学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 舒桂明,李小凤,黄明,等. EPM—810Q电子探针仪自动控制系统的升级改造. 1991-01-01. |
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