BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应

	BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应
	贾乐; 高杨; 张大鹏
刊名	强激光与粒子束
	2018
卷号	30 期号:6 页码:64101
关键词	BAW滤波器声-电磁协同仿真电磁耦合共地电感
ISSN号	1001-4322
其他题名	Common ground inductance effect in combined acoustic-electromagnetic simulation of bulk acoustic wave filter
文献子类	Article
英文摘要	针对体声波(BAW)滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象,验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响。通过分别改变BAW滤波器原始布局中的并联薄膜体声波谐振器(FBAR)P1和P4引线到地的位置,即将并联FBAR P1和P4引线到地的路径分别变短后进行声-电磁协同仿真。结果对比表明:声-电磁协同仿真中并联FBAR引线到地与输入、输出端口之间存在共地电感效应。将并联FBAR引线到地的路径变短,滤波器在声-电磁协同仿真中形成的共地电感效应减小,带外抑制性能变好。共地电感效应对于并联FBAR谐振区面积越小的支路影响越大。故在BAW滤波器声-电磁协同仿真中需考虑共地电感效应对滤波器左传输零点和左带外抑制性能的影响。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6250301
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/286457]
专题	高能物理研究所_实验物理中心
通讯作者	高杨
作者单位	中国科学院高能物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	贾乐,高杨,张大鹏. BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应[J]. 强激光与粒子束,2018,30(6):64101.
APA	贾乐,高杨,&张大鹏.(2018).BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应.强激光与粒子束,30(6),64101.
MLA	贾乐,et al."BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应".强激光与粒子束 30.6(2018):64101.