纳米VO_2薄膜相变特性的红外透射表征研究

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	纳米VO_2薄膜相变特性的红外透射表征研究
	李贵柯; 梁继然; 王晓东
刊名	光电子·激光
	2010
卷号	21 期号:3 页码:323-327
中文摘要	采用双离子束溅射VOx薄膜附加热处理的方式制备纳米VO_2薄膜,利用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分别对其结晶结构和表面形貌进行了测试,利用傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)对热驱动下纳米VO_2薄膜相变过程中的光学性能进行测试与分析. 实验结果表明,经400℃N_2热处理后,获得了由纳米颗粒组成的VO_2薄膜;在所测试的红外波段,纳米VO_2薄膜内颗粒发生相变的初始温度随波长的增加而升高,薄膜的相变温度点随波长增加也逐渐升高.
学科主题	光电子学
收录类别	CSCD
资助信息	国家"863"计划资助项目,国家自然科学基金资助项目,天津市应用基础及前沿技术研究重点资助项目
语种	中文
公开日期	2011-08-16
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/21586]
专题	半导体研究所_集成光电子学国家重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	李贵柯,梁继然,王晓东. 纳米VO_2薄膜相变特性的红外透射表征研究[J]. 光电子·激光,2010,21(3):323-327.
APA	李贵柯,梁继然,&王晓东.(2010).纳米VO_2薄膜相变特性的红外透射表征研究.光电子·激光,21(3),323-327.
MLA	李贵柯,et al."纳米VO_2薄膜相变特性的红外透射表征研究".光电子·激光 21.3(2010):323-327.