基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链 | |
Zhang, Yongyu[1]; Chen, Xiaoyang[2]; Zhao, Jiangming[3] | |
刊名 | 机械工程学报 |
2006 | |
卷号 | 42页码:193-198 |
关键词 | 微制造 多晶硅 薄膜 柔性铰链 直圆柔性铰链 微机电系统 |
ISSN号 | 0577-6686 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2391625 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China[2]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China[3]School of Mechatronical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
推荐引用方式 GB/T 7714 | Zhang, Yongyu[1],Chen, Xiaoyang[2],Zhao, Jiangming[3]. 基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链[J]. 机械工程学报,2006,42:193-198. |
APA | Zhang, Yongyu[1],Chen, Xiaoyang[2],&Zhao, Jiangming[3].(2006).基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链.机械工程学报,42,193-198. |
MLA | Zhang, Yongyu[1],et al."基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链".机械工程学报 42(2006):193-198. |
个性服务 |
查看访问统计 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论