磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究

	磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究
	何东青 1,2; 张广安2 ; 任宁 1,2
刊名	润滑与密封
	2017-12
卷号	42 期号:12 页码:56-63
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://210.77.64.217/handle/362003/24925]
专题	兰州化学物理研究所_固体润滑国家重点实验室
作者单位	1.中国科学院大学 2.中国科学院兰州化学物理研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	何东青,张广安,任宁. 磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究[J]. 润滑与密封,2017,42(12):56-63.
APA	何东青,张广安,&任宁.(2017).磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究.润滑与密封,42(12),56-63.
MLA	何东青,et al."磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究".润滑与密封 42.12(2017):56-63.