题名衬底斜切角对氮化镓基材料生长与光电性质影响研究
作者江灵荣
答辩日期2018
文献子类硕士
授予单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
导师刘建平
关键词斜切角,GaN,InGaN,表面形貌,光电特性
学位名称硕士
其他题名衬底斜切角对氮化镓基材料生长与光电性质影响研究
学位专业电子与通信工程
内容类型学位论文
源URL[http://ir.sinano.ac.cn/handle/332007/6342]  
专题苏州纳米技术与纳米仿生研究所_纳米器件及相关材料研究部_刘建平团队
作者单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
江灵荣. 衬底斜切角对氮化镓基材料生长与光电性质影响研究[D]. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所. 2018.
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