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利用物理气相沉积方法制备多层膜热电材料的工艺
胡志宇[1]; 张海明[2]; 叶锋杰[3]
2014
权利人上海大学
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申请日期2014-12-26
内容类型专利
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2275755
专题上海大学
作者单位上海大学
推荐引用方式
GB/T 7714
胡志宇[1],张海明[2],叶锋杰[3]. 利用物理气相沉积方法制备多层膜热电材料的工艺. 2014-01-01.
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