数字微镜器件的远场焦斑测量方法

doi:10.3788/IRLA201847.1217001

CORC > 西安光学精密机械研究所 > 中国科学院西安光学精密机械研究所 > 先进光学仪器研究室

	数字微镜器件的远场焦斑测量方法
	李铭 1,2; 袁索超1,2 ; 李红光 1; 达争尚1
刊名	红外与激光工程
	2018-12
卷号	47 期号:12
关键词	远场焦斑测量数字微镜器件大动态投影变换
ISSN号	10072276
DOI	10.3788/IRLA201847.1217001
其他题名	Far-field focal spot measurement based on DMD
产权排序	1
英文摘要	提出了一种基于数字微镜器件(Digital Micro-mirror Device,DMD)的高功率激光远场焦斑大动态测量方法。采用DMD对焦斑主瓣和旁瓣区域进行分离,用两路CCD分别测量,通过图像拼接实现两路测量结果的融合,获得大动态焦斑数据。DMD由数字信号控制,通过改变控制信号模板,可以快速适应不同形态焦斑的测量。具体分析了DMD焦斑分割原理及DMD控制信号模板的获取,说明了焦斑重构时所需的图像校正和对准方法,实验验证了新方法的可行性。结果表明:文中方法的测量动态范围可以达到3 000:1以上。
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:6405832
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.opt.ac.cn/handle/181661/31245]
专题	西安光学精密机械研究所_先进光学仪器研究室
作者单位	1.中国科学院西安光学精密机械研究所; 2.中国科学院大学
推荐引用方式 GB/T 7714	李铭,袁索超,李红光,等. 数字微镜器件的远场焦斑测量方法[J]. 红外与激光工程,2018,47(12).
APA	李铭,袁索超,李红光,&达争尚.(2018).数字微镜器件的远场焦斑测量方法.红外与激光工程,47(12).
MLA	李铭,et al."数字微镜器件的远场焦斑测量方法".红外与激光工程 47.12(2018).