CORC  > 上海大学
3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计
马立[1]; 杨斌[2]; 田应仲[3]; 肖金涛[4]; 华晓青[5]; 孙立宁[6]
刊名光学精密工程
2017
卷号25页码:1866-1873
关键词纳米定位 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析 位移检测
ISSN号1004-924X
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2224770
专题上海大学
作者单位[1]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[2]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[3]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[4]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[5]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[6]苏州大学机器人与微系统研究中心,江苏苏州,215021
推荐引用方式
GB/T 7714
马立[1],杨斌[2],田应仲[3],等. 3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计[J]. 光学精密工程,2017,25:1866-1873.
APA 马立[1],杨斌[2],田应仲[3],肖金涛[4],华晓青[5],&孙立宁[6].(2017).3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计.光学精密工程,25,1866-1873.
MLA 马立[1],et al."3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计".光学精密工程 25(2017):1866-1873.
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