3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计 | |
马立[1]; 杨斌[2]; 田应仲[3]; 肖金涛[4]; 华晓青[5]; 孙立宁[6] | |
刊名 | 光学精密工程 |
2017 | |
卷号 | 25页码:1866-1873 |
关键词 | 纳米定位 柔性铰链 压电陶瓷 有限元分析 位移检测 |
ISSN号 | 1004-924X |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 期刊论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2224770 |
专题 | 上海大学 |
作者单位 | [1]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[2]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[3]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[4]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[5]上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072[6]苏州大学机器人与微系统研究中心,江苏苏州,215021 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 马立[1],杨斌[2],田应仲[3],等. 3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计[J]. 光学精密工程,2017,25:1866-1873. |
APA | 马立[1],杨斌[2],田应仲[3],肖金涛[4],华晓青[5],&孙立宁[6].(2017).3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计.光学精密工程,25,1866-1873. |
MLA | 马立[1],et al."3-PRR平面三自由度纳米定位平台的设计".光学精密工程 25(2017):1866-1873. |
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