| 柔性衬底上薄膜的残余应力测量 | |
| 洪正[1]; 帅红俊[2]; 殷路桥[3]; 张建华[4] | |
| 刊名 | 计量与测试技术
 |
| 2017 | |
| 页码 | 48-50 |
| 关键词 | 柔性衬底 残余应力 Stoney公式 全面积扫描 |
| ISSN号 | 1004-6941 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2223074 |
| 专题 | 上海大学 |
| 作者单位 | [1]上海大学机电工程与自动化学院[2]上海大学机电工程与自动化学院[3]上海大学机电工程与自动化学院[4]上海大学机电工程与自动化学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 洪正[1],帅红俊[2],殷路桥[3],等. 柔性衬底上薄膜的残余应力测量[J]. 计量与测试技术,2017:48-50. |
| APA | 洪正[1],帅红俊[2],殷路桥[3],&张建华[4].(2017).柔性衬底上薄膜的残余应力测量.计量与测试技术,48-50. |
| MLA | 洪正[1],et al."柔性衬底上薄膜的残余应力测量".计量与测试技术 (2017):48-50. |
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