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沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响 (EI收录)
汤勇; 马博; 刘彬; 袁伟; 余彬海; 陆龙生
刊名《稀有金属材料与工程》
2016
卷号45页码:3057-3061
关键词耐磨性 涂层 TIALN
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2197337
专题华南理工大学
作者单位华南理工大学表面功能结构先进制造广东省普通高校重点实验室,广东广州510640
推荐引用方式
GB/T 7714
汤勇,马博,刘彬,等. 沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响 (EI收录)[J]. 《稀有金属材料与工程》,2016,45:3057-3061.
APA 汤勇,马博,刘彬,袁伟,余彬海,&陆龙生.(2016).沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响 (EI收录).《稀有金属材料与工程》,45,3057-3061.
MLA 汤勇,et al."沉积时间和靶电流比例对磁控溅射TiAlN涂层耐磨性的影响 (EI收录)".《稀有金属材料与工程》 45(2016):3057-3061.
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