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	BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层
	王梦千[1]; 贾林涛[2]; 李爱军[3]; 彭雨晴[4]; 张方舟[5]
刊名	无机材料学报
	2018
卷号	33页码:1179-1185
关键词	化学气相沉积 氮化硼 沉积速率 微观结构 沉积过程
ISSN号	1000-324X
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2167551
专题	上海大学
作者单位	[1]上海大学材料科学与工程学院,复合材料研究中心,上海 200444[2]上海大学材料科学与工程学院,复合材料研究中心,上海 200444[3]上海大学材料科学与工程学院,复合材料研究中心,上海 200444[4]上海大学材料科学与工程学院,复合材料研究中心,上海 200444[5]上海大学材料科学与工程学院,复合材料研究中心,上海 200444
推荐引用方式 GB/T 7714	王梦千[1],贾林涛[2],李爱军[3],等. BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层[J]. 无机材料学报,2018,33:1179-1185.
APA	王梦千[1],贾林涛[2],李爱军[3],彭雨晴[4],&张方舟[5].(2018).BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层.无机材料学报,33,1179-1185.
MLA	王梦千[1],et al."BCl3-NH3-H2-N2前驱体化学气相沉积法制备氮化硼涂层".无机材料学报 33(2018):1179-1185.

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