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退火温度对新型有源层WZTO薄膜晶体管性能的影响
杨祥[1]; 徐兵[2]; 周畅[3]; 张建华[4]; 李喜峰[5]
刊名发光学报
2019
卷号40页码:209-214
关键词退火温度 溶液法 薄膜晶体管 WSnZnO
ISSN号1000-7032
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内容类型期刊论文
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2163132
专题上海大学
作者单位1.[1]上海大学 材料科学与工程学院,上海 200072
2.上海大学 上海市新型显示设计制造与系统集成专业技术服务平台, 上海 200072[2]上海微电子装备集团有限公司,上海,200072[3]上海微电子装备集团有限公司,上海,200072[4]上海大学 上海市新型显示设计制造与系统集成专业技术服务平台,上海,200072[5]上海大学 上海市新型显示设计制造与系统集成专业技术服务平台, 上海 200072
3.上海微电子装备集团有限公司, 上海 200072
推荐引用方式
GB/T 7714
杨祥[1],徐兵[2],周畅[3],等. 退火温度对新型有源层WZTO薄膜晶体管性能的影响[J]. 发光学报,2019,40:209-214.
APA 杨祥[1],徐兵[2],周畅[3],张建华[4],&李喜峰[5].(2019).退火温度对新型有源层WZTO薄膜晶体管性能的影响.发光学报,40,209-214.
MLA 杨祥[1],et al."退火温度对新型有源层WZTO薄膜晶体管性能的影响".发光学报 40(2019):209-214.
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