| 共焦扫描检测材料面形的方法; 共焦扫描检测材料面形的方法 | |
| 杨莉松 ; 王桂英 ; 徐至展 | |
| 2003-10-01 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利号 | ZL99113699.3 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 中文摘要 | 一种共焦扫描检测材料面形的方法，采用共焦扫描系统首先测量被测样品在纵向Ｚ方向上的响应曲线ｑ，对响应曲线ｑ进行归一化处理，求得响应曲线ｑ线性段ａｂ的斜率Ｓ；然后在响应曲线ｑ线性段ａｂ内测量被测样品表面任意点的光强Ｉ′，并将其按该点纵向上扫描得到的最大光强Ｉmax进行归一化为I。再测得被测样品表面起伏的纵向深度Δｈ，重构出被测样品的表面形貌。本发明的方法可获得纳米级的纵向分辨率。适用于各种固态材料形貌的检测。 |
| 公开日期 | 2011-07-14 ; 2011-07-15 |
| 申请日期 | 1999-05-13 |
| 收录类别 | 专利 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN99113699.3 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/8518]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_强场激光物理国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨莉松,王桂英,徐至展. 共焦扫描检测材料面形的方法, 共焦扫描检测材料面形的方法. ZL99113699.3. 2003-10-01. |
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